Picoosun的Picoos™是公司自己的专有完整堆栈操作系统和过程控制软件，专门开发，允许统一的PICOSUN控制®ALD模块和集群系统通过一般的人机界面。
技术特色
- 统一的HMI为调度程序、流程模块和仪表提供
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用户可以在工具操作时随时编辑/创建配方
- 可扩展和可自由配置的编辑器可用于ALD流程配方和处理作业
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图形界面可确保易于直观的操作，维护和配置
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处理数据记录到20 ms速率
- 可以导出趋势数据
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晶圆画画
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自动承印处理和加工
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模板传输和设备控制接口，用于模块集成app亚博体育
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使用一个常规事件日志为整个平台进行完整的警报和事件日志记录
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秒/宝石支持
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改进了恢复功能
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提供清理和维护程序以加速维护
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可以为不同的用户级别设置访问权限
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安全操作安全仪表，安全逻辑和互锁
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基于EtherCAT的通信为MFMS和MFC提供
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设计牢记未来机会：IOT，AI，Industry 4.0
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广泛的主机连接数组，例如，OPC-UA（不限于SECS-GEM）
图片来源:Picosun
Picosun的内部软件团队开发了Picoos™操作系统和过程控制软件，特别是本公司完全自动化生产ALD设备Morpher和Sprinter。app亚博体育该软件将应用于所有Picosun®未来ALD工具平台。
PICOOS™可确保最优化的控制精度和精度，最快的服务时间，以及PicoSun客户的最佳用户体验。
PICOOS™集成了单独的ALD模块，晶片处理和转移系统，以及在单个常见的图形人机界面（HMI）下的仪器控制。这保证了整个Picosun的简单，直观，易于使用的操作，维护和配置®ALD集群。PicoOS™允许通过SECS/GEM协议完成工厂集成。
Picoos™是在数据周围开发的。它提供了记录到20 m毫秒的过程数据，并且所有可用数据在简单访问的数据库中实时存储，从此可以在将来导出以进行分析。通过集成到软件中的特定清理和维护序列，加快维护程序。
PICOOS™配备可自由的可配置和可扩展的编辑器，可用于制作和存储ALD流程配方和处理作业，从而可以在ALD系统操作期间进行任何时间进行编辑或新的重点。
可配置的用户级别和安全逻辑，仪器和互锁确保在日常操作中使用安全使用情况，并在维护条件下启用对工具管理的完全访问。