这QuadPro包括电脑，步进控制器和基站，直径为200或300mm，分离卡盘。
该软件允许选择1,5,9,25或49点以进行自动测试和测试样本的映射。定位模式可以设置为圆形或方形配置。
也可以定义边排除。在第一次测量，软件自动量程仪表找到最佳设置的样品测试。双重配置确保消除探头头制造商引入的误差，提高测量的重复性和准确性。软件控制器自动步进到每个位置，并记录X-Y位置，板电阻，电阻率和V/I测量在一个可见的表格。
特征：
- 报告平均电阻率，电阻率标准偏差，平均板电阻和板电阻标准偏差
- 电阻温度系数（TCR）与自动化温度夹头和源表（可选）集成的测量。
- 自动化2D和3D轮廓映射
- 采用双配置测试方法，提高精度和重复性
- 对于样品10到300mm
- 每个样品1到49个NIST可追踪自动测量