UHV设计公司生产的MagiDrive系列真空旋转送料装置，在刚性高磁通耦合的帮助下，使旋转转向真空系统。MagiDrive系列不包括任何动态密封、流体或波纹管，因此提供了密封性和可靠的特高压操作。
关键特性
- 采用单片真空外壳，确保无泄漏性能
- 磁耦合设计，是故障安全
- 没有滑动密封，有机物，或波纹管
- 磁屏蔽可用于磁敏感设置
- 高torque-to-size比率
- 可以烘烤到250°C(即使是磁铁)
- 空心的变种，使堆积同心驱动器
- 在低加速度和负载下，零间隙
实心轴的选择
旋转送进的固体轴阵列提供了一系列在产品配置选项中提到的普通轴选项。用户可根据需要使用定制轴。特高压设计提供了一系列扩展轴承座沿其旋转轴支撑轴。
空心轴的选择
四个最大的MagiDrive旋转给料可在空心配置，终端与一个不旋转的CF法兰在后方。这使得服务可以通过驱动器传递，或者在后部安装额外的MagiDrive，从而提供次级旋转轴。
组合紧凑的空心旋转和线性驱动器
磁耦合旋转和轴向运动结合在一个单一的设备，也是紧凑的。基片支架随升力的旋转和使用较低的运动来实现样品转移是一个示例应用程序。通过中空驱动技术，服务可以通过基材加热模块。