震中范围的沉积阶段

UHV设计的震中系列沉积阶段采用先进的设计和工程技术,提供高温,均匀和强大的基材加热,在实际的UHV条件下准确操作。

已经开发了针对溅射,化学气相沉积(CVD)和分子束外延(MBE)等沉积应用的焦化。还可以进行脱气,衬底退火和其他高温材料改变。

Epicentres可以在任何方向上安装,以匹配客户室设计和应用配置。

主要特点

  • 高度均匀的基材加热高达1200°C
  • 选择正确角度,在线和闪烁角度配置的选项
  • 基板旋转可能最多60 rpm
  • RF和DC衬底偏置是可行的超稳定等离子体
  • 基板尺寸范围高达8“
  • 模块化设计可实现特定于应用的配置

ECI型衬底加热器级。

ECI型衬底加热器级。

ECR直角基板加热器级。

ECR直角基板加热器级。

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