Twyman-Green干涉仪可以描述为激光干涉仪构型,用于测量光学级机械表面,光学组件,系统和组件的传输波前质量和表面形状。
源光束在Twyman-Green激光干涉仪中准直,然后用梁分离器分开。“参考光束”引导到高质量的参考镜,“测试光束”被引导到测试表面。通过使用横梁扩展器或分解镜头,可以将测试波前模制,以与测试系统或表面的凸/凹面曲率相对应。
图片来源:4D技术。
Twyman-Green干涉仪测量表面形状
当两个梁通过梁分离器向后返回时,会重新组合,从而产生干扰模式。这种干扰模式是由相变的变化引起的,后者又是由“完美”参考表面和测试表面之间的变化引起的。使用4D Technology的专利动态干涉®技术,该干扰模式可以由传感器记录为单个采集框架。
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相位转移干涉指标集成了许多数据帧,以量化测试表面上所有点的高度,以精确测量表面的形状。有许多技术可以实现多个帧。标准技术通过在帧之间移动参考镜来引入系统和微小的相移。该技术可以定义为“帧速率”有限方法。
动态干涉法:尽管振动,测量
4D技术提供的Twyman-Green干涉仪使用一种完全不同的方法。使用基于极化的动态干涉法®方法,这些仪器从一个框架收集了四个数据阶段。当将四分之一波板引入参考光束和测试梁中时,它会赋予不同的极化状态。
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当摄像机之前引入元素时,数据分为四个阶段,传感器可以同时成像。
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动态干涉法是暴露量有限的,而不是框架速率有限,这是一个额外的优势。动态干涉测量法可以仅几微秒的简短采集时间。这种非常快速的采集冻结了湍流和振动,即使在嘈杂的环境中也会产生出色的测量。
4D技术是第一个开发用于定量,单帧相测量的动态干涉法。
Twyman绿色干涉仪的优势
与其他类型的干涉仪相比,Twyman-Green干涉仪为许多主要好处。
在困难的位置进行测量
Twyman-Green干涉仪的紧凑光学设计可容纳一个微小的测量头,可以轻松地将其放置在狭窄的空间中。激光源可以通过光纤电缆连接到头部,从而将产生热量的元件从光学器件移开。集体结果是在困难地区毫不费力地定位。
尽管有振动,但没有隔离
动态PHASECAM干涉仪消除了对振动隔离的需求。在量化大量光学器件时,或跨长路径量化时,这种好处在隔离系统非常昂贵时至关重要。干涉仪不再需要附加到测试光学上,这进一步简化了设置。
无需参考的措施
在Fizeau干涉仪的情况下,需要高质量和昂贵的参考传输(球形或平面)光学元件。另一方面,Twyman-Green干涉仪消除了对此外部参考光学元件的需求。
远程操作
所有功能的电动控制允许Phasecam Twyman-Green远程用于环境室,真空室,测量塔和其他复杂位置。
无需校准
Twyman-green phasecam始终是精确的,因为它包含较少的部分,不包含任何脆弱的高压PZT执行器,并且没有像时间干涉仪那样具有机械相位转换。
高分辨率
Twyman-Green干涉仪具有本质上的轴上设计,可确保PhaseCams提供精确和高分辨率。
测量高度反射性表面或低回报系统
极化控制允许用户匹配测试梁和参考光束中的能量,以改善条纹对比度。这种特征使用户可以大大增强垂直分辨率和噪声底的测量。此外,可以支持广泛的测试设置反射率,即使在较低的返回设置的情况下,也可以实现出色的对比度。
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动态Twyman-Green干涉仪的应用
Twyman-Green干涉仪特别适合量化:
- 缓慢的f/#凹部组件
- 大量的凹面光学
- 非球形光学元件
- 焦点光学系统
- 在压力容器和环境室中
- 低回报设置
- 在测量塔或其他难以访问的位置
- 超出测量路径
- 移动系统,例如旋转/致动组件,自适应光学和柔性膜
- 在抛光设备中app亚博体育原位过程反馈
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4D技术的Twyman-Green激光干涉仪系列
4D Technology的Twyman-Green Phasecam激光干涉仪一直领导该行业的创新和高性能。
由于行业领先的分析软件,从可见到3.39 µm的可用波长以及一系列高质量的配件,4d Twyman-Green激光干涉仪可提供出色的灵活性和价值。
4d Twyman绿色激光干涉仪
Phasecam 6100 Twyman-Green激光干涉仪
多亏了电动控件和易于位置的纤维耦合测量头,极度紧凑的Phasecam 6100Twyman-Green激光干涉仪非常适合长路径测量。该系统可用于在压力容器,测量塔和其他困难测试设置中进行远程安装。
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Phasecam 6000 Twyman-Green激光干涉仪
电动控件以及易于位置的小型,纤维耦合的测量头使PHASECAM 6000非常适合在压力容器或测量塔,机上计量学和其他困难设置中远程安装。
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Phasecam 4020 Twyman-Green激光干涉仪
PHASECAM 4020具有抗振动和易于手动控件的能力。对于商店的地板或实验室来说,它负担得起且灵活。
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Phasecam NIR激光干涉仪
这些干涉仪在近红外波长为1.053、1.064、1.3和1.55 µm处的波前和表面测量值轻巧且具有抗振动仪。
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Phasecam Swir激光干涉仪
这些干涉仪在1.55 µm的波长下对精确波前和表面测量值轻巧,紧凑和不敏感。
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Phasecam IR激光干涉仪
这些干涉仪在3.39 µm的波长下提供精确的波前和表面测量值。双模式系统在抗振动模式下工作,可在清洁室或常规的时间移相中进行挑战性环境。PHASECAM IR激光干涉仪非常适合质量验证Adocal组件,焦点光学系统和IR光学元件。
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PHASECAM 4020HP高功率激光干涉仪
高功率25兆瓦的Hene Laser有助于量化低反射率(<1%)的设置,例如通过计算机生成的全息图(CGHS)量化沥青。
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