能谱仪实现的能量分辨率是电子能量损失谱学中最关键的整体因素。
NION公司(Kirkland, Washington, United States)是这方面的先驱,这得益于NION IRIS EEL光谱仪实现了4兆电子伏的能量分辨率。这种能源分辨率是一个无与伦比的下限,尚未被其他制造商匹配。
为了进一步提高EELS光谱仪的性能,该仪器可以最好地与直接电子探测器集成,以提高动态范围、速度和灵敏度。
DECTRIS开发了一种名为ELA的新型直接电子探测器,基于其最新的EIGER2技术和一种适应电子光谱仪需求的传感器格式。
DECTRIS的混合像素探测器可以非常有效地计数电子,并且可以管理超过100 pA的探针电流,这是STEM-EELS实验中通常需要的。
DECTRIS ELA探测器配备了一个硅传感器,可以在30到200 keV之间的连续读出模式下工作在9000光谱/秒。改进后的参数可以实现元素实时映射,并允许在几分钟内记录动量分辨的EEL光谱。
关键优势
- DQE ~ 0.8(无超分辨率)
- PSF @ 100 keV ~ 1.3像素,更低keV改善
- 2250帧/秒,子区域更快
- 动态范围> 106:1
- 改进了30 - 200kev操作
- 在计算单个电子时,用户可以利用大于100 pA的束流
应用程序
六方氮化硼(h-BN)的EELS, E0 = 100 keV,束电流= 170 pA, 10秒曝光,0.28 eV/ch。原始数据(没有暗减或增益标准化)。图片来源:N.德尔比。T.C. Lovejoy等人,未发表(2019)。图片来源:Dectris Ltd。
规范便于
表1。来源:DECTRIS
. |
. |
像素大小(µm²) |
75 x 75 |
数量的像素 |
1028 x 514 |
有效面积,宽x高[mm²] |
76.4 x 38.6 |
能源范围(凯文) |
30 - 200 |
最大帧率,ROI [Hz] |
9 000(16位) |
最大帧速率,全帧[Hz] |
2'250(16位),4'500(8位) |
传感器 |
如果 |
数据格式 |
HDF5 |
冷却 |
水,20°C |
维度(举行)[毫米³] |
110 x 80 x 260 |
探测量子效率,DQE(0) |
0.9 @ 100 kV;0.8 @ 200 kV |
探测器安装 |
水平轴上 |
辐射硬度(²el. /毫米) |
> 5 x 10¹⁸ |
所有规格如有更改,恕不另行通知。