离子溅射涂布机 - 离子涂布机SPT-20

SPT-20是一种易于操作的金属溅射涂布机,为自动涂布机提供最佳价值。它用作非导电样品的预处理产物,以提高成像分辨率,样品电导率,电子电荷降低,减少对敏感样品的光束损伤。

SPT-20 Coocer集成了LCD触摸屏用户界面进行操作。外部真空泵(包括)允许尽可能快地实现,从而获得足够的涂层晶粒尺寸,用于大多数标准SEM分析。

描述

SPT-20离子涂布机是用于通过DC溅射原理涂覆在样品的表面上的导电材料如Pt-Pd,Pt,Au和Pd的装置。亚博网站下载另外,非导电样品用于电子显微镜下的可视化,以及保护来自注入的电子束的样品的表面并辅助电子流动。它们甚至可以用作薄膜型电极形成。

  • 数字离子涂布机
  • 真空涂层 - 单触涂层达到正常压力
  • 涂层电流反馈功能确保稳定涂层
  • 利用低噪声旋转泵
  • 可以用几个金属目标使用

在腔室内的设定真空状态下在靶和样品之间施加电压时,剩余的空气分子变成等离子体(电离),并且形成电子和离子。

此外,以高速行进的离子和电子与气体分子碰撞,其中通过排斥分子的电子加速电离。随后的离子在靶的阴极部分上碰撞并撞击靶颗粒,使原料的颗粒碰撞并键合形成涂层。yabo214

应用于SEM.

离子涂布机SPT-20

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