Semilab介绍了一个名为Inse-1000的原位光谱椭圆仪。该工具通过在像ALD室中真空室中的层沉积或蚀刻工艺时，通过椭圆谱分析快速访问光学性质和层厚度。它也可以安装在负载锁定，冷却和转移室上，用于后工艺检查而不破坏真空。
Inse-1000是Semilab的椭圆形式工具范围的一部分，其设计用于在装载锁中执行的沉积或处理过程中的真空室进行测量。
椭圆计的臂也可以容易地安装并定位在离线试验台上或真空室上，用于深入研究最终产品。补充系统和电子元件位于机壳中，该机柜可以定位在沉积工具旁边。以太网接口启用了具有双向通信协议和沉积工具的按需测量序列。
功能和系统规格
- 光纤提供75 W，短弧氙灯
- CF-40真空端口界面
- 紧凑武器
- 光束发散小于0.2°（没有聚焦，并行光束）
- 旋转补偿器光学器件
- 快速模式的光谱分辨率
软件
- 每个层的建模，诸如各向异性层评估，相位节点模型，周期性层，合金模型，分散法或用户指定的游离公式等方法
- 直接可视化测量数据和拟合结果 - 光学和厚度特性
- 最大（k，n）数据库
- 基于以太网的通信协议与沉积工具计算机
在picosun ald上的内部1000
在ALD上的1000
前跖凳