Tescan Solaris是一种用于制造纳米结构和纳米技术启发的微观功能装置的转动钥匙FiB-SEM解决方案。Tescan Solaris将最精确的聚焦离子束与UHR-SEM相结合，以确保离子束铣削和超高分辨率SEM成像之间的最佳连接。
伪造™GA + FIB柱设计成满足越来越严格的聚焦离子束纳米制备要求。凭借其终极FIB分辨率，具有广泛的光束电流选择和使用Tescan DrawBeam™的先进的图案化控制，Orage™FIB柱常常制造最复杂的结构。可选的自动化模块有助于批量处理和无人看管的预定义操作执行，如TEM薄片制备或产生结构阵列。
Tescan Solaris采用带浸没光学器件的Triglav™SEM柱，可通过整个梁能量进行确保优异的高分辨率性能。无现场分析模式可用于微显微分析和由浸没磁场影响的材料的表征，以及用于铣削过程的实时SEM观察。亚博网站下载Triglav™还包括列中的二级和后散射电子检测器。大型分析真空室可容纳各种腔室安装探测器和分析配件。
具有Tescan Solaris的先进纳米制剂可以通过可选的气体喷射器和用于离子束沉积或选择性蚀刻的宽范围的气体前体来增强。SEM柱的静电束凸白器选项有利于电子束纳米透射机。
Tescan Solaris的模块化可定制的图形用户界面提供了Tescan Essence™技术支持，从多用户，多功能工作站易于转换到重复纳米制备任务的工作流优化的转弯解决方案。
重点福利
- 最佳离子束性能ĭ无横跨超高分辨率SEM成像
- 用于电子和离子束的高精度纳米透视发动机
- 多种气体注入系统选项，具有各种前体气体
- 室内延长选项最多12英寸晶圆检查
- 易于使用的模块化软件用户界面ĭPython脚本接口，用于高级用户定义的实验