Q300T T加:薄膜的三重目标溅射夹具

Quorum Technologies的Q300T t Plus是一种大型涡轮泵式涂料系统,最适合于溅射单个大直径标本,测量高达8英寸/200毫米或多个较小的样品,跨直径相似。

Q300T T Plus适用于薄膜应用和SEM/FE-SEM。它配备了三个溅射头,以确保单个大型标本或几个较小标本的均匀沉积。

自动快门关闭的三重溅射头

自动快门关闭的三重溅射头。图片来源:法定人数技术。

NB:必须注意,每个溅射头的三种不同溅射金属的顺序溅射是不可行的 - 对于顺序涂层,必须使用Q300T d Plus。

主要特征

  • 16 GB内存可以存储1000种食谱
  • 5 x 10的终极真空-5可以实现MBAR或以下
  • 新的多色LED视觉状态指示器
  • 新的触摸和滑动电容屏幕
  • 多用途配置文件可以在一台计算机上配置
  • 用于升级和下载过程日志文件的USB端口
  • 根据最近的用户,新软件每个用户的食谱
  • 可互换的阶段选项

Q300T T Plus的推荐申请

  • SEM的多个样品制备
  • 晶圆检查

这些产品仅用于研究用途。

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