Q150T Plus:涡轮分子泵浦镀膜机用于金属氧化

来自Quorum Technologies的Q150T Plus已经被优化开发用于涡轮分子泵，它提供了一个低至5 x 10的真空⁻⁵mbar。这使得氧化金属的溅射成为可能，这种金属具有较低的晶粒尺寸，是高分辨率成像的理想材料。同样地，低散射使开发高纯度、高密度非晶碳膜成为可能。

关键特性

• 可以在一台机器上配置多用户配置文件
• 新的触摸和滑动电容屏幕
• 全新多色LED可视状态指示灯
• USB接口，用于升级和下载进程日志文件
• 16gb内存可以存储1000多个食谱
• 能达到5 x 10的真空吗⁻⁵mbar
• 新的软件根据每个用户最近的使用情况对食谱进行排序

Q150T Plus有三种配置

• Q150T S plus -一个自动溅射镀膜机设计处理非氧化金属。溅射靶有ITO、Cr、W、Ir、Al和其他靶。
• Q150T E plus -自动碳线涂布机设计处理SEM应用，如WDS和EDS。也可选择金属蒸发/孔径清洗。
• Q150T ES plus -一个可以进行碳涂层和溅射的集成系统。沉积头可以在几秒钟内更换。也可选择金属蒸发/孔径清洗。