Athena是来自Forge Nano的最新原子层沉积（ALD）工具，主要用于涂覆3D和高表面积物体。Athena是最通用，经济，用户友好的商业ALD对象研究工具。
Forge Nano的雅典娜专为：
- 研究和发展 - 多种研究项目众多对象的化学品
- 物体涂层 - 特别是3D和高度多孔的物体
- 低粒子环境 - 清洁罩集成选项以促进粒子敏感的应用
- 空气敏感材料可选的Glovebox集成可实现材料的惰性处理亚博网站下载
Athena的创新设计提供了研究项目需要的可靠性和多功能性。该工具能够均匀涂覆不同尺寸和形状的物体，以及内部孔隙。用户可以在任何时间内实现结果。
Forge Nano的自定义工具使用户能够同时涂抹许多物体，最大化系统空间并通过多路复用基板减少涂布时间。
技术规格
Athena系列系统都提供：
- 符合人体工程学的门，便于进入歧管组件，前体瓶，加热等部件
- 用于最小化学废物和最终均匀性的自动计量系统
- 用户友好，基于配方的控制软件，用于快速执行实验
可选的GloveBox集成
Forge Nano与Mbraun合作，提供最新的空气敏感ALD技术。Forge Nano的集成Glovebox系统使用户可以免费工作2，O.2和水分，让它们更集中创造新材料。亚博网站下载