来自牛津仪器的柔性系统在单个ALD系统内提供远程等离子体原子层沉积（ALD）工艺和热ALD。这为设计纳米级结构和设备提供了全新的灵活性和能力。
- 单个柔性工具中的远程等离子体和热ALD
- 远程等离子体可确保损坏很低
- 等离子体ALD促进的低温工艺
- 选择前体和材料的最终灵活性亚博网站下载
- 可以耦合以进行基板的真空转移
- 盒式磁带处理促进了生产的吞吐量
- 可以处理最多200毫米的晶片
- 配方驱动的软件界面可确保可控的可重复流程
概述
ALD产品系列包括各种工具，以满足企业研发，学术界和小规模生产的不同工具。
图片信用：牛津仪器等离子技术