Oxford Instruments的Nanofab提供了CVD/PECVD工具，用于开发1D/2D纳米材料和异质结构。亚博网站下载纳米型刀机可确保具有精确的过程控制和原位催化剂激活的纳米材料的高性能生长。亚博网站下载
- 最多200毫米的样本量
- 特殊的均匀性，柔性温度高达1200°C
- 可选的固体/液体源输送系统，用于生长2，mos2和其他TMDC
- 700°C，800°C或1200°C的选项
- 带有淋浴间的均匀前体交付的冷墙设计
- 真空负载锁可以快速交换样品
申请
- 1D材亚博网站下载料生长
- 2D材亚博网站下载料生长
- 石墨烯的生长
- 碳纳米管（CNT）生长
- mos2生长
- HBN增长
1D/2D纳米材料生长的CVD/PECVD工具亚博网站下载