牛津仪器公司的PlasmaPro 800是一种多功能的解决方案，适用于在大量晶圆和300毫米的晶圆上执行等离子体增强化学气相沉积(PECVD)过程。PlasmaPro 800系统是一种紧凑的开放式装载系统。
该系统包括一个大型晶圆压板，可实现批量生产和处理300毫米晶圆。
- 精确的过程控制
- 高性能的过程
- 建立300毫米单片失效分析流程
- 优良的基材温度控制
概述
PlasmaPro 800包括一个直径为460毫米的工作台，从而提供完整的300毫米或43毫米x 50毫米(2″)的大批容量。这一特点提供了完整的生产解决方案，从而使PlasmaPro 800系统成为一个经过充分验证的、行业领先的产品。
图片来源:牛津仪器等离子技术公司
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