紧凑型等离子体清洗系统- Apoll

新的剥离系统的费用已上升到不合理的水平。崔恩已经解决了这个关键问题。阿波罗等离子体清洗系统是一种紧凑、廉价、多功能的系统，可以处理100-300mm的晶圆。根据需要使用ICP或微波和射频偏置功率，可以在低温下去除难以去除的阻垢层。根据应用需要，该系统可采用SST-Lightning微波源(可靠且不存在典型微波调谐问题)或ICP技术。

规范

• 刻蚀速率可达6ìm/min
• 100mm至300mm晶圆片
• 高吞吐量
• 占用空间小
• 低的等离子体损伤
• 具有价格竞争力
• 自调优

应用程序

• 微机电系统
• 化合物半导体
• 飞行员线生产。