几种工业应用需要具有高吞吐量的完全自动测量。反过来，这需要自动样品处理。
这MicroOrf.®MHU.已经专门为半导体，LED和MEMS行业开发，并且可以易于配置一系列样品（晶片）类型。处理单元可以管理2至12英寸范围的晶片尺寸。基于配置，可以同时处理多达四个盒。
微鼠的亮点®MHU.
- 提供高吞吐量，高达220瓦/小时
- 包括带双臂机器人的材料处理单元
- 可选的OCR读卡器/预对准器
- 包括打开盒式磁带的装载站
- 可选的SEC / GEM界面
- 包括分隔良好和错误样本的排序功能
TTV选项
桌面工具以及微鼠的独立系统®系列采用双面样品检测选项。这允许测量样品厚度的底部和顶侧。样品的总厚度变化（TTV）可以与表面参数一起测量，例如两个表面的波纹，平坦度和粗糙度。用户可以轻松改装现场TTV选项。