的MicroProf®菲FRT是一个标准化的，100%自动2D/3D晶圆计量工具。由于其完全SEMI保形计量解决方案以及几乎无需维护的硬件部件，使高吞吐量，MicroProf®FE是每个前端实验室的理想“主力”。
典型配置可以通过几个可选功能加以改进;即使是现场升级也可以在以后进行。用户可以用MicroProf以更低的投资成本很好地应对快速的技术发展®菲。
突出的MicroProf®菲
- 基于MicroProf .的多传感器技术®300
- 100%自动2D和3D表面计量前端应用
- 特定的嵌入式解决方案
- app亚博体育设备前端模块
- 晶片处理模块
台的选择
MicroProf的独立系统以及桌面工具®系列产品可选择双面样品检查。这便于同时测量样品的底部和顶部，也便于测定样品的厚度。样品的总厚度变化(TTV)可以与表面参数一起定义，如两个表面的平整度、波纹度和粗糙度。TTV选项可以毫不费力地现场改装。