帮助与半自动热压花系统半导体制造技术

EVG520HE半自动压花热系统电动汽车集团专门设计了一个广泛的压花和nanoimprinting应用程序。有能力接受200毫米的基板,EVG520HE兼容最标准的半导体制造技术。

EVG520HE已经配置了一个普遍的压花室,以及高真空、高温和高接触力功能。结果,这种热压花系统管理全方位的聚合物和眼镜经常所需热压花的目的。

EVG520He还提供用户使用各种高纵横比压花和de-embossing选项,以及流程能够执行高质量纳米分辨率模式转移。

产品特性

  • 有用的系统热压花和nanoimprinting聚合物基质的应用,自旋对聚合物和玻璃材料亚博网站下载
  • 自动压花过程
  • 配备EVG专有的单独的光学校准过程压花和印迹过程保持一致
  • 气动de-embossing选项
  • 软件控制流程操作
  • UV-NIL选项

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