全球许多研究和工业加工公司利用残留气体分析仪(RGA)对位于真空环境中的气体进行分类。
有3个等级的RGA系统可从Extrel，其能力范围。经典的Extrel RGA是一个基本的和经济的RGA系统。其次，适度的MAX-LT RGA系统可以提高电流室的灵敏度和质量范围。最后，多样化的MAX系统，提供了特殊的分辨率和灵敏度，以满足客户的要求。MAX-QMS系列可以定位十亿分之10 (ppb)到100%，是目前可用的最精确和可重复的测量系统。
应用程序
- 产品描述
- 在半导体处理系统中寻找污染物
- 检查真空炉是否有泄漏
- 寻找从超高真空(UHV)室壁上脱吸的气体
- 监测发酵罐顶空
- 检查真空炉是否有泄漏