星云星团系统与星团集成

Angstrom生产了一个完全自动化的测序工具星云集群系统,利用Aeres控制软件。

Angstrom开发的算法是针对集群的特定排序,并与Aeres过程控制软件集成,使具有多个模块的系统可以高效运行。这些可能包括清洗工位、基片和掩模的负载锁,以及几个沉积室或工艺模块。

该星云的星团排序算法建立在一个简单的设计之上,它通过分配基板、掩模和沉积或清洁的配方来设置序列,用于将要使用的星团模块。

一旦创建了这个序列,它们将输入一个全局队列,该队列将确保它们在分配的订单中进行处理,以便用户通过输入的配方控制流程。因此,使用一个简单的系统来为用户提供高级调度能力。

第一步是将基板和掩模加载到所选的模组中。Aeres软件程序为每一个提供一个唯一的标识符来定义它们。在此之后,用户可以构建所需复杂度的序列,因为它们是完全由用户控制的。

说明,假设三个基板和两个面具被加载到一个负载锁模块是在星云集群平台组成的两个沉积室,a和B,可以建立一个顺序衬底与面具一个一个进入沉积周期之后,沉积衬底的一个,再一次,掩模2的运算在B中进行。

下一步是在a中沉积衬底2和掩模3,以此类推。这些步骤可以按任何需要的顺序组合,并且可以同时运行多个序列,以使其尽可能高效。

集群的集成

集群集成-图1
集群集成-图2
集群集成-图3

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