的埃分划板是一个系统，允许光学设计师生产最高纯度和密度的薄膜，甚至沉积，使用可重复和完全自动化的过程。这使得几个特性可以用来创建精确的厚度控制:
顶点光学监控
Apex是一种来自Angstrom的光学监测系统，可以在现场直接或间接地监测过程，在可变角度阶段。这就避免了使用工具或目击换玻璃器。
原位椭圆光度法
原位椭偏仪的可用性使得在沉积阶段可以获取光学薄膜性能的数据。由椭偏仪获得的信息得到的层的端点完全网格化到Aeres。提供了几种不同的多波长和光谱椭偏平台。
石英晶体微天平(QCM)
该系统有一个QCM，其快门位于基片附近，这使操作人员能够获得关于薄膜在每一时刻沉积的速率及其厚度的信息。QCM用于校准初始沉积速率，然后在控制周期内打开固定的光束电流来完成层厚。当使用百叶窗时，当沉积过程延长或系统使用负载锁定时，晶体有更长的工作寿命。