DLS设计用于接地到各种低温恒温器。
全系列测量模式
- 温度扫描
- 深度分析
- 频率扫描
- 捕获横截面测量
- 电导瞬态测量
- C-V表征
- 光学注射
可选的模拟或数字控制设置,以允许真实的用户友好操作
- 全电脑控制与广泛的软件支持,完整的库数据库,用于准确污染识别
- 通过I-V,C-V样品质量测试
DLS-1000.
这DLS-1000.是一种增强,高灵敏度的系统。与其前身相比,DLS-83D,它敏感的八倍。
该系统提供了完全自动测量模式,以及对测量数据的完全解释,包括杂质识别和浓度测定,而无需任何对用户交互。
深度瞬态光谱(DLTS)是用于监测和表征深层的最佳方法,造成故意或意外地引入半导体材料和整个设备中的杂质和缺陷。亚博网站下载
功能和系统规格
- 最大灵敏度(2×108原子/ cm3.)检测痕量污染
- 接口到各种低温恒温器
- 广泛的测量模式:
- 温度扫描
- 深度分析
- 频率扫描
- 光学注射
- C-V表征
- 捕获横截面测量
- 电导瞬态测量
- 由模拟和数字设置控制,以允许操作缓解
- 通过I-V,C-V样品质量测试
- 完整的计算机控制,具有宽范围的软件支持,完整的库数据库,用于准确污染识别