层流场中的不同压力可以由FMA-LP2600A系列质量流控制器评估和操纵气体的质量流速。气流可以通过仪表内的层流元件（LFE）改变，该仪表强制执行流线流。在该组件中，Poiseuille方程式命令说，体积流速必须与压力下降线性相关。因此，使用压力传感器在LFE的两个固定点之间测量压力的减小。除此之外，气粘度还用于确定体积流速。此外，集成了绝对温度和压力传感器，以调整标准条件的计算流速。这会产生标准化的流量或质量流量，每分钟标准立方厘米（SCCM）或每分钟标准升（SLM）单位。
为了控制固有的PID循环控制器，使用真实比例阀来控制液体流。原理读数由0到5V（4至20 mA可选）和RS232通信组成。可以对气体选择组件进行可自定义的调整，并且可以从前键盘或使用RS232通信更改设定点。RS232连接可用于检查和记录体积流，质量流，绝对压力和温度的测量。在相同的串行连接上将最多26个单元多置于46米（150'）的可能性。
规格
- 准确性：±（读取 + 0.2％FS的0.8％）
- 可重复性：±0.2％FS
- 倒车比率：200：1
- 控制响应时间：100毫秒
- 输入控制信号：0至5 VDC，RS232
- 输出信号：0至5 VDC，RS232
- 可选输入/输出：4至20 MA，0至10 VDC
- 工作温度：-10至50°C（14至122°F）
- 零偏移：0.02％/atm FS/°C
- 跨移位：0.02％/atm FS/°C
- 湿度范围：0％至100％RH，不遵循
- 过度流速：2.4％FS
- 湿材料：亚博网站下载标准：303和302 SS，FKM，有机硅RTV（橡胶），玻璃增强尼龙，铝，黄铜，410 SS，硅胶，玻璃；> 250 SLM：416 SS和镍替换黄铜
- LSS（选项）：316LSS，303SS，430FRSS，Perfluoroelastomer Standard，FKM，EPDM，Buna，Neoderene
- 最大压力：50 psig
- 在体积模式下使用：近气氛，15 psig建议最大值。体积流量计和控制器未经质量流量的准确性高于仪表的额定流量范围。它们仅针对接近大气的压力条件而设计。建议的最大工作压力为15 psig
- 电源电流：0.250 a对于20 slm及以下；0.75 A对于50 SLM及以上（典型）
- 电源电压：单位2 SLM及更小的单位15至30 VDC；单位24至30 VDC 5 SLM及更大
- 电气连接：8针圆形迷你din