FilmTek™2000se是一种高性能的光谱椭圆尺寸，用于薄膜表征，从深紫内到NIR（190-1700nm）测量。基于旋转补偿器设计，FilmTek™2000se光谱椭圆表将光谱椭圆形与多个角度反射率相结合，使其理想地适用于测量非常薄膜的厚度和光学常数（N＆K）。FilmTek™3000SE光谱椭圆型计除了光谱椭圆形和DUV反射仪之外还增加了透射测量能力。FilmTek™2000se Propecticopic椭圆仪采用SCI的材料建模软件，为同时测量薄膜厚度，折射率和消光系数提供实惠且可靠的薄膜测量工具。
- 以多个角度的光谱反射（190nm-1700nm）偏振光
- 具有旋转补偿器设计的光谱椭圆形（300nm-1700nm）
- 独立测量膜厚度和折射率
- 具有SCI专利差分功率谱密度（DPSD）技术的多角差分偏差偏振率（MADP）技术
- 用于测量超薄薄膜的理想选择（原生氧化物上的重复性0.03）
- 用于各向异性测量的可选广义椭圆测定法（4x4矩阵泛型方法）（NX，NY，NZ）
- 适用于测量先进的薄膜
FilmTek™2000se光谱椭圆尺寸特征
- 多功能：FilmTek™2000SE Prictroscopic Ellipsometer Continate Consion的全局优化算法具有先进的全局优化算法，可同时测定：
- 多层厚度
- 折射指数[n（l）]
- 消光（吸收）系数[K（L）]
- 能带隙[例如]
- 组成部分和空隙分数
- 电影梯度
- 低成本：FilmTek™2000se光谱椭圆仪的所有权成本与可比仪器非常竞争。
- 无需特殊知识：FilmTek™2000SE Prictroscopic椭圆仪软件设计成使需要最小的个人计算机，薄膜光学设计或测量技术。
- 完整的“转钥匙”系统：具有校准，采集和分析软件的完全集成的光谱椭圆仪测量系统。
- 非接触和非破坏性。
- 灵活：FilmTek™光谱椭圆脉冲仪硬件和软件可轻松修改，以满足独特的客户要求。
- 可选功能：
- 计算机控制自动阶段。
- 盒式磁带晶圆处理
- 小点尺寸（50微米）
- 模式识别（康康克斯）
Filmtek™2000SE光谱椭圆型器
实际上，使用1埃厚度为约150微米的所有半透明膜可以使用FilmTek™2000se光谱椭圆仪测量高精度。典型的FilmTek™2000se光谱椭圆椭圆仪应用包括：
- 半导体和介电材料亚博网站下载
- 电脑磁盘
- 多层光学涂层
- 涂层玻璃
- 光抗反射涂层
- 薄金属
- 电光材料亚博网站下载
- 太阳能电池