SEM分析期间,标本用电子波束辐照并导致标本表面电荷积聚和图像质量下降因此,为通过SEM获取高质量非导样图像,必须在表面形成传导层
导波涂层防止样本表面充电并提供一个表层/潜在表层,以便清除样本外电场
为了防止非导出标本表面积聚电荷,需要超薄电导金属涂层-如铬金(Au)、白金(Pt)、银(Ag)、金/(Au/Pd)或irium(Ir)。进程称为ion-Sputer套件iONCOATER适合使用Semoscript桌面扫描电波版
规范化
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| 电力消耗 |
AC100V-240V/50/60HZ/500W |
| 目标 |
AU&PT |
| 目标大小 |
50毫米 |
| 旋转泵 |
50L/minute(60Hz)、AC220V、150W14.5kg |
| 目标直径 |
50.8毫米 |
| 离散电流 |
0~9m |
| 操作Vacum |
约0.1Torr |
| 最大ion电压 |
~1kv |
| 空格大小 |
百毫米 |
| 维度 |
420(W)*220(D)*230(H)毫米 |