来自CAMECA的SC超高性能磁片SIMS

的CAMECA SC超已专门设计，以满足先进半导体中不断增长的动态SIMS测量需求。

设计CAMECA SC超是非常独特的:与CAMECA IMS Wf，它是唯一的SIMS仪器提供极低冲击能量的能力，没有折衷高质量分辨率和高传输。

随着SIMS技术的成熟，用户希望减少实现高重现性和高精度测量所需的专业知识。趋势显然是朝着无人参与的自动化分析方向发展。的CAMECA SC超面对这一挑战，它的大样品架可以装载几十批样品，它的计算机自动化控制所有分析参数(分析配方，仪器设置等…)。