来自CAMECA的SC超高性能磁片SIMS

CAMECA SC超已专门设计,以满足先进半导体中不断增长的动态SIMS测量需求。

设计CAMECA SC超是非常独特的:与CAMECA IMS Wf,它是唯一的SIMS仪器提供极低冲击能量的能力,没有折衷高质量分辨率和高传输。

随着SIMS技术的成熟,用户希望减少实现高重现性和高精度测量所需的专业知识。趋势显然是朝着无人参与的自动化分析方向发展。的CAMECA SC超面对这一挑战,它的大样品架可以装载几十批样品,它的计算机自动化控制所有分析参数(分析配方,仪器设置等…)。

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