Lambda Technologies的Diamotek 700系列微波钻石CVD系统

Diamotek 700系列微波钻石CVD系统Inforatr可调谐振腔技术提供具有高效率和控制的经过验证的钻石沉积能力。

主要特征

• 精确的血浆控制
• 有效的能量耦合
• 灵活的处理选项
• 预期缩放表现
• 统一沉积和高率
• 完全集成的系统
• 流程开发服务
• 干净的房间兼容

研发和生产的集成系统

• 由自动周期分析和集成微波炉，气体处理和真空模块控制的计算机控制
• 腔调节和底物的远程位置控制
• 功率选项从1.2 kW到10kW 2.45 GHz
• 过程参数从20到00 torr
• 完整的过程气体范围