TurboDisc®K465I™GAN MOCVD系统是Veeco的K系列平台的最新入口，该平台已提供生产，可提供高生产率，适用于全球HB LED高量生产工厂。K465i由于其出色的均匀性和出色的运行重复性，可达到90％的收率（5nm bin）。K465i由于其完整的自动化和维护后的恢复期缩短，还提供了该行业最高的生产率。
主要特征
- 将行业最高的资本效率与最高生产率和一流的收益率相结合。
- 基于生产预先验证的高吞吐量K465平台
- 在晶圆均匀性和最终过程可重复性中合并新的统一FlowFlange®技术
- 简化的设计可轻松调整快速生产资格和维护后快速恢复
- 低维护TurboDisc®技术可实现最高的系统可用性
- 最高盈利能力的最低所有权成本