最新的Verifire HDX干涉仪来自Zygo的设计和构建，用于极端性能光学元件和系统的中间空间频率特性。该系统具有流行的Verifire HD - 如QPSI的所有优秀功能，以及长寿命的稳定激光器，并为高仪器传递函数（ITF）的新型最佳成像和分辨率等重要的改进，并且具有出色的表征中间空间频率和高斜率表面偏差，以及Zygo的Dynaphase®动态采集方法消除了由于振动而消除问题，并且在几乎任何环境中都可以实现精密计量。
专为最佳分辨率和性能而设计
Verifire HDX系统具有完全新的光学设计，精心设计，以支持其3.4k x 3.4k（11.6mp）传感器的像素有限的性能，提供改进的成像，该成像显示出难以区分较低分辨率的干涉仪的表面特征。这种超高空间分辨率不会损害速度。该系统以96 Hz的帧速率为准，全部分辨率高于其他高分辨率干涉仪，由于噪声进入较慢的测量，可以具有窄能力。
功率谱密度（PSD）和衍射分析工具循环验证HDX系统的中间空间频率表征特征，并通过简单直观的用户界面对详细的表面特性报告详细的表面特性。
光学表面测量中的中间空间频率内容
优越的参考光学和配件
Ultrsphere™和Ultraflat™参考光学器件经过λ/ 40pvr或更好的认证，并且具有严格控制PSD签名，以减少中间空间频率内容。建议使用这些高精度参考光学器件与Verifire HDX干涉仪一起使用，以实现系统的总性能能力。Ultraflat传输平面设计以满足这种精度水平，而无论它们是水平还是垂直方向，它都是在用户的测试设置中提供更大的灵活性。
超薄和超薄λ/ 40变速器元件
MX™软件
Zygo的专有MX™分析软件提供了广泛的运行功能和完整的数据分析套件，包括Zernike，PSD / MTF / PSF，斜坡，角隅棱镜，棱镜角等。这种全功能的数据采集，仪器控制和分析软件包具有与运行自动化，制造过程和报告关键中间空间频率特性相结合的工具。它具有简单而智能的界面，便于学习曲线和高效的操作。它还包括基于Python的脚本和远程访问，以获得最高的灵活性和集成到复杂的测试设置中。
MX软件，Zernike分析结果
仪器传递函数 - 它是什么，为什么它很重要
已经识别了光学表面的形成误差多年，但随着对光学系统性能的需求增长，控制中间空间频率（MSF）特性的重要性也是如此。需要对MSF特性进行紧密控制，以降低光散射，并提高极端性能应用的光学效率。
小型刀具确定性抛光方法非常有效地定影形式误差，也可以将未经请求的中间空间频率内容赋予光学表面。基于表面特性的斜率和频率，传统的干涉仪系统 - 对于测量表面形式良好匹配 - 由于分辨率有限而无法测量和量化更高频率的表面特性。缺乏分辨率意味着较高的频率细节衰减，并且可能在测量结果中没有显示。
这是仪器传递函数（ITF）进入的地方。干涉仪系统将根据其设计（相机，光学设计，波长）衰减表面信息，该设计建立其ITF ...其测量光学表面空间频率含量的能力。The Verifire HDX system, with its high-resolution 3.4 k x 3.4 k sensor and enhanced optical design, has a higher ITF than all other commercially available interferometer system, making it an important tool for reliably measuring and quantifying mid-spatial frequency characteristics of optical surfaces. This offers optical designers with the ability to assertively specify optical surfaces to a higher degree of precision, and outline ITF testing requirements to match system performance goals.
测量的啁啾伪像与频率径向，恒定的40nm步高度和（底部）的啁啾伪像的轮廓，显示测量的步高度随着空间频率的增加而变化。
Zygo的Verifire™HD干涉仪和Nomad™光学分析器Demos 2016 West