的SiBrickScan（SBS）来自Bruker是一种专用的静脉系统，用于完全硅锭中的间质氧气的FTIR定量，导致沿纵向轴线的浓度分布。在不锯切晶片或测试样品的情况下访问此信息被认为是一个显着的成本节省优势。
获取有价值的信息以验证和优化产品质量
硅锭的氧梯度可以得出重要的结论，例如，有助于识别不良原料批次或监测和优化硅结晶过程。因此，SBS将通过优化产品质量和减少不良晶圆的数量来帮助节省成本。对单个铸锭的随机取样大大减少了样品制备的工作量。这种抽样还能更早地提供适当的信息。
最高灵敏度的最先进的FTIR光谱学
通过FTIR光谱（ASTM /半1188）的间质氧定量是一种良好的和重要的分析方法，但在低MM范围内限制为薄的Si样本。
SBS克服了这一限制，是第一个商业上可用的完全专用系统，可以沿着主轴确定完全锭中的氧梯度，而不需要耗时和破坏性的薄样品制备。
SBS有效地使用了相关的红外泛音吸收波段，并结合了可靠和最先进的布鲁克FTIR技术。
技术细节
针对不同锭类型的专用SBS版本
SBS可用于单晶或多晶标准方形光伏锭(截面~156 × 156 mm)2）还用于圆柱形Si锭。直径〜150毫米（6英寸）或〜200毫米（8英寸）。
行业兼容和强大的设计
精确且坚固的线性驱动器自动控制铸锭测量位置：取决于铸锭类型和配置，可以沿着铸锭轴实现〜12mm的空间氧气分辨率。通过安全可靠的互锁机制消除了操作员与运动部件接触的风险。
直观且易于使用的软件界面
SBS配备了针对工业环境进行优化的直观和专用图形用户界面。一般生产工人在几分钟内就能学会操作程序:装入钢锭，选择所需的分析配方，然后开始测量。接下来是自动进行测量，包括数据评估。
包含参考样本的创新高灵敏度光束路径
最高的测量灵敏度由创新和独特的红外光束路径保证。高质量的参考样品已经包含在仪器中，参考测量是自动执行的。
可根据客户要求选择探测器
SBS配有斯特林冷却探测器，独立于液氮功能。还可以任选地用液氮冷却检测器顺序SBS，包括自动再填充装置。
应用程序
不制备薄样品的间隙氧定量
SBS允许分析长度为500毫米的硅锭中的间隙氧。这些重要的信息使得在锯切前对单个钢锭进行鉴定和优化结晶过程成为可能。
高质量校准直接连接到ASTM/SEMI 1188
SBS氧气评估使用直接源自/链接到ASTM/SEMI 1188的校准。由于两种方法的相关性几乎是完美的，间隙氧浓度的评价具有最高的准确性。
最高的检测灵敏度与SBS
SBS可获得间质氧检测限< 2ppma (< 1017/厘米3.)，这取决于样品的性质(例如电阻)和形状。