利用XPS分析AXIS超正先导表面

X射线光电子能谱（XPS）也称为用于化学分析（ESCA）的电子光谱，是用于表征最上面的材料表面的分析技术。亚博网站下载该方法在学术和工业研究中使用，该方法具有技术应用的表面，如超硬，无机涂层或有机发光二极管。

轴上的轴⁺-光电子能谱仪

奎托斯分析高级轴⁺提供了比前代产品更好的性能。光谱仪可以用来获取光电子能谱，提供定量的化学状态信息或高空间分辨率图像，提供表面元素或化学状态的横向分布。上轴心⁺将市场领先的性能与易用性相结合。

借助逃生综合采集和处理软件，轴超市⁺执行其最高的能力，并提供了一个用户友好的界面与分光计。此外，轴心国⁺与其他光谱仪不同，因为仪器参数和样品处理通过计算机控制完全自动化。在分析过程中，样品架可以在没有用户干扰的情况下转移和交换。这是通过样品分析室自动工作台和Flexi-lock样品库的配合来实现的。

轴的能力超级⁺：大面积、高灵敏度XPS

Kratos Analytical的Axis Supra⁺对化学态XPS进行了改进。高透射率的电子光学，加上高效的光电子收集，确保了在大的分析领域无与伦比的分辨率和灵敏度。除了传统的扫描采集外，借助128通道延迟线检测器（DLD），还可以在一秒钟内以快速、无扫描的快照模式采集光谱。

主要属性如下：

• 可以快速获取数据
• 可以容易地检测光元素
• 包括扫描或快照频谱采集模式
• 卓越的信号对噪声，即使在减少浓度下

高能量分辨率

最佳的能量分辨率是任何光谱仪的主要要求。高能量分辨率对于精确测量微小的化学位移非常重要。克瑞托斯分析轴⁺具有大500毫米罗兰圈圈单色ALKαX射线源以及改进的电子光学，保证了卓越的化学分辨率。

高光谱能量分辨率具有以下优点：

• 在导电和绝缘样品上保证能量分辨率
• 显式检测化学班次

从具有高能量分辨率的大面积获取的Si氧化物上的Si 2P区域。

小点，选定区域光谱

提高了轴的性能⁺小光斑确保了在小光斑模式下的高灵敏度。这是通过将X射线照明与所选分析区域匹配来实现的。一个可选的brite-X单色源也可以指定为应用需要极高的灵敏度性能从小选定的地区。

所选区域光谱的关键属性如下：

• 改进的X射线照明，以更好地性能的选择区域光谱
• 预定义的小点分析区域，最小分析面积15μm直径
• 消色差或单色X射线源可用于获取所选区域光谱
• 静电透镜柱中的自动光圈和光圈，在样品表面创建虚拟探针
• μ-boost采集模式，在小面积模式下具有极高的灵敏度（可选）

XPS图像用于确定27μm选区测量光谱的位置。

快速并行成像

XPS成像用于测量表面化学或元素的横向分布。快速和高空间分辨率并行图像由轴上获取⁺。与更传统的光栅方法相比，平行图像采集的益处是相当更快，并且达到更高的空间分辨率。

此外，平行成像可与舞台运动结合以获得“缝合”图像；它可以生成几毫米以上的图像，空间分辨率为几微米。

并行成像提供以下功能：

• 定量成像 - 独家球形镜像分析仪以及延迟线检测器可以提供定量化学状态图像
• 高能量分辨率，化学状态成像
• 这最终空间分辨率为1μm最大放大倍数
• 光谱显微镜光谱可以很容易地从图像数据集中获得，从而在每个像素处提供光谱

颜色尺度表示在表面存在的每个元素的相对量的定量图像。

多技术能力

可选的激励源包括一个高能量AGLα单色X射线源紫外光电发射光谱用增强型氦放电灯(UPS）和一个消色差Al / mg X射线源。

此外，包括现场发射电子源添加扫描螺旋钻映射（山姆），螺旋钻电子光谱（AES公司）和二次电子显微镜（SEM.）仪器的能力。这些附加方法与XPS分析位置一致，提供对样品的互补理解。值得注意的是，包含这些方法不会影响市场领先的XPS的性能。

表面改性和样品制备等选项可以安装在引入室内，也称为Flexi-Lock。这些选项包括空气敏感样品转运仪，样品热和冷，晶体切割机，宽度离子源和手套箱。

可以配置第三个腔室，为地面科学研究提供专用的超高压设置。通常的配置配备了一个手动阶段，以及可选的表征方法，如四极二次离子质谱第三室(亚博老虎机网登录模拟人生)逆光电子能谱(IPES.)低能电子衍射(LEED.）。

使用（a）单色Alkα辐射和（b）单色Ag1α的示意图中所示的薄膜多层样品（IMEC由IMEC提供）中获取的SI 2P光谱。通过较大的Si元素基材组分对AGLα激发Si 2P光谱的更大信息深度。

他II激发了四种常见聚合物的价带光谱。

用于采集和处理的多功能ESCApe软件

创建了ESCApe软件，以确保用户与光谱仪的交互尽可能简单，将采集和处理结合起来，完全利用硬件自动化。其中一个例子是ESCApe软件中的组阵列分析功能。此功能允许用户在样本上拖动区域并定义一系列分析点。随后从这些分析点获得光谱。

峰的自动识别和量化使得用户能够在样品表面上容易地产生检测元素的颜色浓度图。

石墨衬底上铜纳米颗粒非均匀分布的群阵列分析。用于表示相对元素浓度的色标。yabo214

进入大块离子溅射源

Minibeam 6 AR_N⁺气体聚类离子源（GCI）或MINIBEAM 4.，高通量ar⁺单体离子源用于配置轴上的轴⁺. 这两个离子源完全集成到ESCApe采集软件中，用于深度剖面实验或溅射清洗。气体处理是完全自动化的溅射分析和包含泵/吹扫序列，使过渡到氦气离子散射光谱（ISS）。

这微型光束6是一种可以在AR中工作的多模离子源⁺/他⁺单体离子模式或AR_N⁺群集模式根据需要。气体聚类离子源的最新发展已经为深度分析有机材料铺平了型材的深度分析有机材料。亚博网站下载另外，通过柔性电子器件和有机LED等复杂多层材料的深度剖面现在可以用AR实现亚博网站下载_N⁺簇离子。

微型光束6可以产生20kev Ar_N⁺簇离子，并且这种能力导致成功蚀刻二氧化钛，例如由簇离子蚀刻相对于常规的单抗体离子蚀刻引起的显着较少的化学损伤。亚博网站下载

• 两个来源都可以与他一起运作⁺可选ISS模式的离子
• 自动引入气体和压力调节
• 单模或多模式气体聚类离子源的选择

溅射深度剖面测量光谱（左）和元素浓度作为蚀刻时间（右）通过PZT / Pt / TiO的函数₂/ SiO.₂/ Si多层样品使用20 kev ar_500.⁺离子。

无与伦比的仪器自动化

样品处理在AXIS Supra完全自动化⁺，将其与其他光谱仪分开。样品自动交换样本朝着实验结束使得能够连续运行。无与伦比的自动化水平延伸到定期维护方面，如计算机控制的烘烤和纤维的进一步脱气。

此外，自动化包括单色镜和X射线源，以便通过计算机完全控制AlKα源和可选AGLα激励源之间的校准和切换。电动多位置阳极还确保持续优化的性能。

系统配置概述

轴上的轴⁺提供最高水平的自动化以及灵活性，包括补充样品制备和/或表面分析方法。下面介绍的几个可选项目是安装后的升级。

Kratos Analytical在开发表面分析仪表硬件方面具有建立的轨道记录。Kratos Analytical的物理学家和机械工程师可以为轴上的表面改造，样品处理和进一步的技术集成提供解决方案⁺。