这波长色散光谱(WDS)提供光谱分辨率,为扫描电子显微镜(SEM / EDS)上的能量色散光谱高的数量级。EDS的学生意识到某些X射线能量值可以与其他值分歧。经典例子是钨,其中M-Line,1.744,硅,K线能量为1.740。这个问题被称为“重叠峰值”。另一个好处是该方法对痕迹和轻质元件的敏感性。
在电子束微张上发现了几年的电磁束微张,阵列若干WDS检测器与电子束的样品相互作用,最近的WDS在扫描电子显微镜上可用。与其一个探测器的WDS的一个缺点是收集数据所需的时间。
MAGRAARAY WD光谱仪被推出为SEM的新且高效的方法。使用独特的X射线光学和自动操作,Mangaray光谱仪使WDS易于使用和高效作为SEM / EDS,回答EDS无法解决的几个问题。
MANGARAY WDS功能
- 能量分辨率〜4eV
- 清楚地处理众多峰值与EDS不能轻易分开的峰值重叠
- 背景值比EDS低20倍
- 在定量分析中的更大敏感性
- 增强的跟踪元素检测
这些用途非常有价值
- 更好的频谱质量
- 基于WDS的元素映射
- 元素确认 - 元素存在的快速是/否
- 全标准WDS量化以获得最高的灵敏度和准确性
便于使用
- 包括从150 ev到15 kev的能量范围
- 软件自动选择理想的衍射器晶体
- 软件执行自动对齐以保证最佳性能