用Zygo的大型光圈系统维护两个独立的计量措施

来自Zygo的水平轴大孔径系统提供了保持两个独立的计量腔的独特能力;标称干涉仪孔（4“）之一，另一个是四个光束扩展器直径（12”，18“，24”和32“）中的一个选择。

配置有适当的附件时，这些系统可用于测量表面形式以及传输的波前质量。

这大孔径系统由：

• 干涉仪主机（Dynafiz™或Verifire™）
• MUX立方体（可切换镜组件）
• 光束扩展器（可提供为12“，18”，24“或32”直径）
• 相位测量容器（12“和18”系统; 24“和32”利用波长移位主机，不需要PMR）
• 基于光学配置，参考光学 - 根据需要时，传输和参考单位
• 安装 - 用于测试光学和参考光学的安装座

大型光圈系统部件可以与干涉仪主机分开购买。

验证XL.

Verifire™XL干涉仪系统是一个独立的大孔径工作站，用于测量直径最高12“（300 mm）的平坦浮出水面。示例包括窗户，前表面反射器和半导体晶片或晶片卡盘。

该系统是向下看的配置，其在大多数条件下都消除了特殊部件保持夹具的需求。操作者可以简单地将测试部件放在倾斜/尖端级的平坦表面上，并在测量孔下滑动整个级。

凭借其小型占地面积，Verifire™XL干涉仪需要用户的生产设施中最低数量的有价值的占用空间。用户需要的一切都是内置的，包括隔振系统。变速器平面也集成并预先调整，并且不需要调整。这增加了吞吐量并简化了操作。

Zygo的独家QPSI™采集技术也包括在内，消除了边缘“打印”。这又能够在生产环境中经常发现的振动存在下可靠的高精度测量。