Zygo，技术和应用中的技术和应用支持中的领导者在外差位移干涉测量中为OEM计量应用提供了完整的解决方案和支持ZMI™系列位移测量干涉仪。该公司的OEM产品和技术在领先的生产设施中使用了多年的验证。
主要特点
ZMI™系列的主要功能如下：
- 外差位移干涉测量
- 一种能够支撑多个轴的单个激光源
- 易于对齐，高度稳定，对信号幅度的不敏感
- 噪声相位测量的高信号使得能够高精度并消除假计数，即使在零的转换速率下也是如此
- 对OEM应用的高度强大
典型应用
ZMI™系列的典型应用如下：
- 校准：高频或高分辨率机械运动的测量和校准
- 光刻工具：电子梁和激光面罩作家，光学脚踏车和扫描仪
- 工艺设备：探针，app亚博体育记忆维修工具，钻孔工具和模具粘合剂
- 计量工具：晶圆，面具和LCD测量和检测工具，以及CD-SEM
配置系统以满足特定需求：
Zygo提供各种各样的
这种模块化方法使用户能够通过选择最合适的组件来配置理想地适合其要求的系统。