这低温硅分析系统来自Bruker的（Cryosas）是专门用于硅的低温（<15K）杂质分析的专用一体化系统。该系统经过优化以用于工业环境。
Cryosas将高性能FTIR光谱仪与BRUKER的集成，闭环冷冻冷却技术相结合，不液体氦气。Cryosas的所有组件都是最先进的，但它们仍然利用经过验证的技术在苛刻的硅生产环境中实现复杂的分析。低温可以在高自动化级别运行，包括准确地报告测试结果。
功能包括
高灵敏度
Cryosas根据ASTM / SEMI MF1630标准分析浅杂质（例如磷，硼等）降至低PPTA水平。另外，根据ASTM / SEMI MF1391标准，它同时分析氧气和碳降至低PPBA水平。
在低温(~ 12k)下，CryoSAS对碳(见上)以及硼和磷(见下)的测量结果。
闭式循环低温制冷系统:无需昂贵的液冷设备
CryoSAS包括一个高度可靠的封闭循环冷冻技术，用于探测器和样品室冷却。这种封闭循环系统每年可节省5万欧元的运营成本，甚至更多。
冷冻温度样品隔室，采用自动化9位置样品架。
Cryosas主软件屏幕显示当前加载的样本和所选的分析方法。
不锈钢样品室设计：易于样品
CryoSAS配有经过验证的样品室设计和自动样品头和固定光学。大内径的样品室允许容易接近样品持有人。
干前泵和涡轮泵:简单和干净的真空系统操作
冷冻机通过干式泵和涡轮机泵提供可靠和快速的疏散。
坚固，精密的步进电机架用九个位置样品架：
坚固的平移平台连接到样品持有人允许多个样品分析。坚实的平移机构和高扭矩电机提供精确的样品分度和多年可靠的功能。样品可以很容易地安装和拆卸，样品支架可以很容易地安装在样品室。样品持有人的金涂层OFHC铜设计，确保均匀的温度。
易用性
低温优化用于工业环境。PLC控制所有真空和制冷装置。使用简单的按钮操作执行开始测量和冷却。用户不必是真空专家或谱专家来执行操作。
Cryosas的专用软件旨在满足工业质量控制的要求。它可以通过触摸屏轻松使用和操作。用户可以简单地选择首选分析方法，输入示例信息并按开始按钮。然后，低温键将自动降低样本，开始红外测量，评估结果并创建分析报告。
规格
光谱范围：1500-280厘米－1改进了检测
- III组和V组浅杂质根据ASTM / SEMI MF1630标准单晶SI。对于厚度为约3mm的楔形样品，可以达到以下检测限：
- 置换碳按照ASTM / SEMI MF1391标准。与样品样品相比，该方法需要具有厚度和表面性质的碳自由FZ参考样品。对于厚度为约3mm的楔形样品，可以检测到降至20 ppba的碳浓度。
低温技术的技术受以下一个或多个专利的保护：美国5309217;de 4212143;美国7034944;美国5923422;DE 19704598.
典型的低温分析报告包括所有相关信息和结果。