太赫兹频率下晶圆片接触探测-太赫兹低温探针臂

Lake Shore Cryotronics公司的太赫兹低温探测臂是一种用于太赫兹频率的低温应用的晶片接触探测器。它为下一代电子学的研究和发展开辟了新的测量可能性。

低损耗太赫兹波导

高频接触测量需要仔细考虑,以知道信号的传输和从设备的测试。当频率增加到75 GHz以上,并进入以前无法达到的太赫兹范围时,信号可以在小至几厘米的路径上使用电流波导迅速下降。

这个问题通常用室温探测解决方案来解决,这是通过减少频率探测器模块/扩展源和探头之间的路径长度来实现的。然而,连接的波导可以在体积庞大的模块侵入样本空间之前减少,这使手臂的灵活性复杂化,并限制了添加额外探头的选择。

在低温探针站中,需要相当长的信号路径为25厘米,需要导航站的内部结构和真空室。岸湖最新太赫兹低温探测臂特别开发的低损耗太赫兹频率波保证了在这些较长的距离上优越的信号完整性。

应用程序

  • 包含具有适当频率扩展器的网络分析仪
  • 使用典型的RF / DC /微波探头臂联合两个THz探头臂,共有六个并发触点探针
  • 用于75 GHz和以上的THz频率的毫米波装置的毫米波装置的毫米波装置用于垫湖湖泊低温探针站。

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太赫兹低温探测臂的部件

探针手臂

太赫兹低温探测臂是一种用于湖滨探测站的高频选项。它可以安装在两个或五个手臂位置的兼容站。

该选项包括一个三轴微操纵级,焊接由不锈钢制成的波纹管,包括:

  • 直流偏置端口
  • 配置用于第三方频率扩展器的馈通端口和安装平台
  • 探头臂和基座,内置θParararization
  • 高频波导,选择匹配频率扩展器的带宽

只有探针臂是由湖滨.第三方提供其他所需元素,例如探头和频率扩展器。

频率扩展器

目前,湖滨探测臂支持弗吉尼亚州二极管公司的MiniVNAX扩展器。VDI扩展模块功能与Keysight, Rohde & Schwarz和Anritsu等供应商的最先进的信号分析仪和矢量网络。

VDI模块在一个频段范围内提供,其中每个频段需要略有变化的输出耦合配置。湖滨的波导拓扑结构必须与扩展模块的频带相匹配。

探针

太赫兹低温探测臂协助由Dominion Microprobes开发的定制探头。有可能在合适的位置安装这些武器2或5。T-Wave™探头由Lake Shore或Cascade Microtech提供。

该微加工GSG探头具有低插入损耗耦合的直流和DUT偏压探头电路。探头经过低温认证并进行热锚定,以减少对DUT的热传递。传感器贴在跟踪探头温度上。

变温高频研究

太赫兹低温探测臂通过早期研究人员需要的非常低的温度和高磁场,可以实现微调的S参数和额外的高频测量。这为下一代电子产品中的研发提供了新的测量可能性,例如量子计算和射频天文学。

S参数测量

散射参数(S参数)说明了设备的频率相关的电气行为,其是电压信号和稳态行波电流。

可以使用一个端口或两个端口配置。根据信号的发送或接收方向,反射(S11,年代22)和传输(s12,年代21)元素被单独测量,以提供整个设备的轮廓。

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