semore公司的SC450-LL型先进磁控溅射系统是一种高可靠性和高性价比的系统，提供了高性能。Semicore是一家精密薄膜真空沉积系统和产品的设计和制造商。
该公司的设计方案和工程能力有效地有助于创新磁控溅射系统的能力、质量和必要的经济SC450-LL．
的模型SC450-LL具有适应多种基板尺寸/形状的能力，并具有高达200毫米(8“)直径的活跃分解区域。它的设计具有完全自动集成控制和多过程气体能力。
关键特性
其主要特点是SC450-LL如下:
- 研究和开发原型
- 共沉积或顺序沉积模式
- 体积小，加工周期快
- 多个来源多达四个
- 积分阴极快门
- 基材台面-冷却/加热，偏压/蚀刻，旋转
- 还提供了先进的快速循环负载锁定
- 持久的可靠性
- 磁控管源:50毫米(2 ")，75毫米(3 ")，或100毫米(4 ")
- 共焦阴极安排
- 高频射频或中频射频，直流和脉冲直流电源
- 现场阴极倾斜
客户证明
semiore Eapp亚博体育quipment, Inc.为我们提供了紧凑的溅射工具- SC250和SC450LL。这两种工具都有高度集成的组件，包括磁控溅射，真空系统等，并有一个苗条的设计，以适应任何有限的实验室空间。统一的图形界面用户友好，但也很强大和专业，并允许通过简单的触摸屏控制所有系统组件。这两种工具提供卓越的性能，包括高薄膜质量，卓越的跨晶片均匀性和高产品吞吐量。这些工具是理想的研发实验室或小批量制造。我们也对semore的优质客户服务印象深刻。他们的工程技术人员知识渊博，负责任。他们致力于履行对我们的承诺，并在系统/工具设置和正常的服务电话中提供了出色的服务。我们很高兴能再次与这个团队合作。
余晓军，柔宇集团工程副总裁