提出的溅射系统模型之一Semicore是SC943在线溅射系统.这是一个快速循环负载锁定溅射系统,带有可选的基板热。
它有一个动态压力控制和使用多达四个高利用率线性磁控溅射源。
溅射技术包括直流、脉冲直流、射频和中频交流,由PC/PLC控制,操作简单,数据记录、在线支持、HMI和公差校核。
它使用射频蚀刻预清洗和利用低温或涡轮高真空泵。
客户证明
Semicore设app亚博体育备公司提供了一个非常有能力的系统,按期交付并在预算之内。他们的工作人员反应迅速,彬彬有礼,把工作完成了。以后有需要设备的时候,我一定会联系sapp亚博体育emiore。
Bill Goward, Stioapp亚博体育n Corporation高级设备经理