最新的高级,磁控溅射系统模型SC450来自Semicore是一种经济高效的高性能高度可靠的仪器。
半是一家建立的设计师和制造商的精密薄膜真空沉积系统和产品。该公司的设计举措和工程能力有效地促进了创新磁控溅射系统的能力,质量和必要的经济性。
这型号SC450可以容纳多个基板尺寸/形状,具有直径高达200mm(8“)的有源分解区域。它采用完全自动集成控制和多种工艺气体能力设计。
主要特征
SC450的主要功能如下:
- 研究与开发原型
- 共沉积或连续模式
- 卷积小,快速循环处理
- 多达四个来源
- 磁控管源:50毫米(2英寸),75毫米(3英寸),或100毫米(4英寸)
- 积分阴极快门
- 基质;冷却,加热,RF / DC偏置
- 原位阴极倾斜
- 共聚焦阴极安排
- HF RF或MF RF,DC,脉冲直流电源
- 还提供了先进的FastCycle装载锁
客户推荐书
Semicometapp亚博体育 Equipment,Inc。提供了小型实验室磁控溅射系统(SC-450),我们在我们的研发工作中使用了光学传感器领域。我们与Semichere工程师密切合作,定义和定制设备,以最适合我们的当前和可能的进一步需求。app亚博体育工程人员对相关组件,系统和软件非常了解。它们在安装之前和之后提供快速和详尽的支持。该系统采用工程透视,安全,易于使用。我期待着与这家公司做更多的业务。
丹尼斯德纳利科博士,电气工程学院和计算机科学学院,马里博尔大学亚博老虎机网登录