原子探针断层扫描(APT)是一种材料分析方法,可在原子量表下提供3D化学组成和成像。它适合分析晶界分离。与透射电子显微镜(TEM)相似的样品制备需要进行适当的分析,但需要针头几何而不是薄的薄片。
为了研究特定站点特征,该功能必须在尖端顶点的约500 nm之内。聚焦离子光束(FIB)工具用于设置此类样品。在标本锐化的最后阶段,FIB中的对比往往可以忽略不计或非常低,从而使特定于现场的测试变得困难。
Atom探针辅助工具(APA)工具提供了一种原始方法,可以观察Fib铣削步骤之间的晶界位置。由于APA样品尖端是一个小的3D锥,因此可以应用传输-EBSD(T-EBSD)来测量和成像晶体学方向并建立晶界位置。
改进了此工具,可用于对APT尖端的T-EBSD测量,包括默认地图塑造APT尖端配置文件和图像处理方法,以改善来自具有不同样品厚度的样品的T-EBSD图案。
传统的EBSD可用于在主要位点特异性FIB拔出准备之前建立样品的晶界位置和特征,从而允许测试特定的晶界类型。这很重要,因为各种边界类型具有不同的隔离行为影响材料性能。
通过在铣削步骤之间收集T-EBSD数据集,可以轻松地检测到晶界位置,并且当边界在样品尖端的200 nm之内时,铣削方法将停止。可以在FIB中完成准备和验证,从而消除了转移样品的需求。
主要特征
APA的主要功能如下:
- 智能摄像机优化 - 自动安装摄像机参数,用于从APT标本中收集优质T -EBSD图案,以进行精确的数据收集
- 智能背景处理-T -EBSD背景处理专门用于改进厚度不同标本的图案,以允许精确的晶界位置和方向表征
- Hikari Plus EBSD摄像头 - 高性能/高灵敏度EBSD摄像机在最广泛的操作条件下运行
- APT标本提示映射模式 -
- 地图形状模板旨在适合APT标本尖端形状,以快速有效的安装和数据收集
- 标本铣削后稳定映射的地图形状很容易修改
- 映射尺寸的空间指示,以确定晶界是否在距样品尖端所需距离之内
- 智能索引-T -EBSD模式分析,使用创新三重索引,以在APT标本和索引速率上更好地空间分辨率。
- 传输 - EBSD模式
- T-EBSD模式安装采集参数以自动从T-EBSD标本收集好数据
- 轻松从T-EBSD切换到常规的EBSD收集,以管理APT标本分析和站点部分分析。
结论
原子探针辅助使用户既可以为标本准备并从中获得质量结果APT分析比使用基本技术更快,更容易。此工具允许选择用于制备的特定晶界类型一个PT标本尖端并观察FIB准备过程中的晶界位置,以确保对目标偏爱区域的恰当分析。原子探针辅助使APT用户能够更快地超越晶界隔离研究的边界。