这S lynx来自Sensofar是一种新的非接触式3D表面剖面，是针对研究和工业应用高度紧凑的高性能系统的专门设计。
紧凑型和多功能系统可以在各种表面尺度上提供不同纹理，粗糙度，波动性和结构的测量，使其适用于一系列高端表面测量应用。Sensofar的专有3合1测量技术可确保系统提供理想的性能。Sensoscan软件促进了系统的异常直观操作。
技术
这S lynx是一种高性能的3D光学剖面，在同一传感器头上整合了三个技术；共聚焦，干涉法和焦点变化。
共焦
共聚焦探查师旨在测量光滑至非常粗糙的表面。通过共聚焦分析提供了可以通过光学剖面实现的最高横向分辨率，将空间采样降低到0.01 µm。这适用于临界维度测量。
具有超过70°的陡峭局部斜率和粗糙表面的光滑表面，可以使用高NA（0.95）和放大倍率（150倍）目标测量其斜率高达86°的粗糙表面。使用专有共聚焦算法在纳米尺度上提供唯一的垂直可重复性。
干涉法
白光垂直扫描干涉法（VSI）是一种常用且强大的技术，用于测量表面特征，例如透明的膜结构或地形。它是对光滑至中等粗糙表面进行测量的理想选择，无论目标NA或放大倍率如何，都可以提供纳米垂直分辨率。
焦点变化
焦点变化是一种光学技术，旨在测量大型粗糙表面的形状。建立Sensofar的在共聚焦和干涉3D测量的境界中，广泛的知识，该技术在低放大倍率下补充了共聚焦测量。大型垂直范围，最高测量速度（mm/s）和高坡度表面（高达86°）是该技术的另一个关键功能，使其非常适合进行工具应用。
共焦，没有活动部件
使用的共聚焦扫描技术Sensofar的系统使用专利的微型播放扫描技术。基于硅（FLCOS）技术上的铁电液晶，该微型播放创建了一个快速的开关设备，而无需任何移动组件。该设备可以快速，准确，可靠的共聚焦图像扫描。
配备了微型播放和相关算法，共聚焦技术由Sensofar提供的垂直分辨率优于其他共聚焦方法，甚至比激光扫描共聚焦系统更好，所有这些都没有数据过滤。
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关键设计功能
硬件
这S lynx由于其紧凑的设计，带有内置控制器和传感器头，其占地面积很小。这是一个具有可靠性能的功能强大的系统，可以轻松安装。
使用振动隔离垫实现了系统的高稳定性。在大多数情况下，不需要振动隔离表。
众多目标
优质CF60-2尼康目标的使用提供了每个NA的最大工作距离。有30多个目标可用。编码鼻台的存在决定了目标的变化，并自动更改软件。
适应性列
由4位列开发的Sensofar最多可调节高度150毫米。由于灵活的选项，可以避免不同高度样本之间的限制。
运动系统
这S lynx定位由一个手动XY阶段组成，该阶段具有150毫米x 100毫米的行进范围，以及一个具有高位置精度和40毫米旅行范围的电动Z阶段。机芯系统还具有倾斜的角度计，导致旋转点保持焦点。
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