流量稳定性取决于控制器的精确和快速的能力。与其他控制器相比阿利卡特的质量流控制器更快并抑制在线压力下的波动以保持稳定的流量,从而节省了时间和运营成本。
MC标准系列质量流控制器
这MC标准系列质量流控制器由于其稳定和响应性的性质,在全球范围内被视为最快的质量流控制器。这MC系列将速度和精度保持在高达50 slpm或低至2.5 µl/min的流量。控制器具有自定义孔口大小特征,该特征使用户能够选择其选择的值以满足性能和应用程序要求。
主要特征
主要特征MC标准系列质量流控制器包括:
- 获得专利的差分水流测量技术
- 用单个设备控制质量流,容量流量或绝对压力
- 可访问的PID阀调整,以实现出色的稳定性和速度
- 50-100毫秒的响应速度静止上游波动
- 没有热身:准备控制一秒钟的过程流动
- 自定义阀门孔的尺寸产生全范围稳定性
申请
这MC标准系列适用于以下申请:
- 气体分析仪校准器的OEM质量流控制
- 用于环境空气采样和分析的体积流量控制
- 控制高温质量流
- 定制气体混合系统
- pH控制的气体喷射
- 反应性溅射的气流控制
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Alicat的质量流控制器