滚动到柔性基板的卷沉积系统 - Orion系列

野马真空系统滚来滚真空沉积系统对于柔性基板,设计用于各种过程和基板尺寸。野马焦点和哲学是在高生产率滚动系统上滚动系统。通过创新的设计和服务访问简化减少了目标和基板的调度,例如对输出和正常运行时间的巨大影响。

  • 薄膜PV - 柔性CIGS或CDTE太阳能电池在塑料和金属基板上。
  • 触摸屏-灵活的触摸屏应用程序
  • 窗膜 - 防反射,低发射率,紫外线过滤和智能窗口应用。
  • EMI / RFI屏蔽

源的选择

  • PVD溅射 - 平面或可旋转的阴极
  • 可配置的AC,DC,RF,脉冲DC和HIPIMS电源配置
  • PECVD - 血浆增强CVD
  • 混合- PECVD和PVD溅射混合涂层配置

标准的选择

  • 基板宽度范围为300mm至2000 mm
  • 可选的单侧触摸系统,可用于高度划伤的敏感涂料。
  • 单或多温控滚筒系统在沉积期间提供精确的卷筒温度。
  • 单个或多个沉积区域可作为自由跨度或鼓背。
  • 精确的配方控制网页张力和主动网页转向

定制

猎户座系列高度可配置和野马常常与客户配备,为生产提供创新流程。通过优化客户特定流程周围的系统配置,野马正在使下一代柔性涂层产品,如显示器、电池和电子产品成为可能。

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