ESPion:用于等离子体诊断的高级朗缪尔探针

希登ESPion探针可用于I-V血浆特性的定期监测,为血浆重现性和稳定性提供直接数据。

等离子体参数的自动实时外推提供了有关等离子体特性的全面数据,可用于表征和均匀性监测。

ESPion系统的标准等离子体分析模型是轨道运动限制模型(OML)和Allen Boyd Reynolds模型(ABR)。

通过Hiden自动z驱动,空间分辨率的测量可以通过等离子体体积实现。标准的z驱动翻译选项有:300,600和900mm。

关键特性

ESPion的主要特点如下:

  • 15扫描/秒采集速度与D-O-E接口,用于汽车,半或手动分析
  • 4.25MOhm在13.56 MHz cf. 100kOhm
  • 用于高温等离子体操作的气冷多电感链
  • 气冷多电感链可由用户替换为调谐到其他频率
  • 参考探头补偿低频效应,例如等离子体电位的偏移(例如阳极化室壁)或噪声(例如电源)
  • 任何商用单元的最高阻塞阻抗
  • 最快的脉冲等离子体规格的任何商业探头
  • 包括所有必要的门电路作为标准
  • 联锁隔离阀,90°探头,组合线性-旋转驱动器可供选择
  • 自清洁周期,以限制探头尖端污染
  • 300, 600或915mm自动直线驱动选项
  • ESPsoft控制通过RS232, RS485或以太网局域网

应用程序

ESPion的主要应用如下:

  • 浮动的潜力
  • 电子温度
  • 离子通量
  • 离子密度
  • 等离子体的潜力
  • 等离子体特性描述
  • 电子能量分布

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