的希登EQP系统是一个组合的质谱仪和能量分析仪制造的分析等离子离子，中性和中性自由基。该系统包括正离子和负离子分析的工作模式。
对于中性自由基的详细研究，提供了阈电离和电子附着电离模式，用于分析正电和负电等离子体自由基。
EQP系统配备了集成的MCS -多通道标量数据采集，时间分辨率可达50ns，从而为脉冲等离子体应用提供快速数据采集。隐藏等离子体探针可用于测量某些关键等离子体参数，并提供有关等离子体反应化学的详细数据。
完全理解等离子离子和中性物种的反应动力学对于开发高级表面工程工艺(如HIPIMS)至关重要。
基本的电子轰击离子源可以分析中性物质，并结合电子附着质谱(EAMS)电子附着模式，可以分离和鉴定电负性自由基物种。
关键特性
EQP系统的主要特点是:
- 45°静电扇形分析仪，扫描能量在0.05eV增量/ 0.25eV半宽宽
- 软件控制的离子提取光学最小等离子体扰动
- 所有能量的离子飞行路径和恒定离子传输的最小扰动
- 差动泵浦三滤芯四极，质量范围可选到2500amu
- 可调谐积分电离器外观电位质谱与电子附件选项
- 高灵敏度/稳定性脉冲离子计数检测器，具有70年动态范围
- 彭宁压力表和联锁提供过压保护
- Massoft通过RS232，RS485或以太网LAN控制
- 脉冲等离子体中时间分辨研究的信号门控和可编程信号门控选项
- 1000eV选项，浮动选项高达10keV，法拉第杯用于高密度等离子体
- Mu-Metal，无线电金属屏蔽选项，高压操作选项
应用程序
EQP系统的主要应用如下:
- 蚀刻/沉积研究
- 离子和自由基的分析
- 离子注入
- 残余气体分析
- 等离子体电极耦合
- 泄漏检测
- 激光烧蚀