奥林巴斯的LEXT OLS4100

的LEXT OLS4100来自奥林巴斯的激光扫描显微镜设计用于10nm分辨率的表面测量和非接触式3D观测。它由定制的光学系统和高数值孔径组成。在光学系统内的405nm激光器确保优越的性能。

有了这些定制的目标，LEXT OLS4100确保了样品的可靠测量锐角样品，以前很难测量，也可以测量不规则表面的微粗糙度。

短波长405nm激光器和高孔径物镜的存在提供了令人印象深刻的0.12µm的X-Y分辨率，用于在样品表面进行亚微米测量。精确的0.8nm分辨率线性比例尺和I-Z曲线等软件算法可以帮助OLS4100分辨10nm高度差。

LEXT OLS4100在更宽的区域范围内提供高分辨率图像和快速图像采集。它包括一个包含两个共焦光路的双共焦系统。当与高灵敏度检测器结合时，这种双共焦系统允许OLS4100从样品中生成精确的3D图像。

新的多层模式可以识别来自多层的反射光强度峰值。它还允许测量透明样品的上表面，并分析多层，以评估每层的厚度。

在OLS4100中加入了阻尼橡胶和线圈弹簧的混合减振机构，以消除外界对测量和成像的影响。

可选的OLYMPUS Stream微成像软件可以进行非金属夹杂物评级或粒度分析，结果可以直接从OLS4100上传。

双性能系统

精度和重复性是测量工具性能的两个关键参数。OLS4100是业界第一个确保可重复性和准确性的LSM。每一个部件都采用严格的生产体系，并在综合评估方面提供最高质量的体系，达到行业标准。

样本测量类型

OLS4100提供不同类型的测量:步进测量，表面粗糙度测量，面积/体积测量，几何测量，可选薄膜厚度测量，粒子测量，和自动边缘检测。

步进测量，允许测量一个表面上任意两点之间的一步，表面粗糙度测量，允许测量线/平面粗糙度，几何测量，测量几何图像上任意两点之间的距离，以及其他可选的模式，包括粒子测量，薄膜厚度及自动边缘检测。

改进的表面粗糙度测量

OLS4100的校准与接触面粗糙度仪的校准类似。OLS4100包括所需的粗糙度参数和基于ISO和JQA的滤波器。OLS4100利用其特定粗糙度模式，使用自动线缝合功能，可以为长度达100mm的样品创建粗糙度轮廓。该方法还可用于微几何表面粗糙度的高分辨率测量。

作为一种非接触式激光显微镜，OLS4100可以进行精确的表面粗糙度测量，无论表面纹理条件如何。它还可以识别测量位置并对目标微区进行粗糙度测量。

提供高质量的图像

可选的OLYMPUS Stream微成像软件进行非金属夹杂物评级或粒度分析，结果可以直接从OLS4100上传。白色LED灯和高保真彩色CCD相机的存在产生清晰自然的彩色图像。高动态范围(HDR)功能用于组合从光学显微镜使用不同曝光捕获的各种图像。

LEXT OLS4100可以同时生成高度图、激光显微镜图像和真彩色光学显微镜图像。白色LED灯和高保真彩色CCD相机的存在产生清晰，自然的彩色图像。使用DIC激光模式，LEXT OLS4100可以提供与电子显微镜在低功率放大下相比的实时图像。

高动态范围(HDR)功能结合了从不同曝光获得的各种光学显微镜图像，从而提供了宽动态范围的图像。

直观的图形用户界面

OLS4100具有一个简单的三步“成像，测量和报告”过程。宏地图功能允许在低放大率下显示样品的广角图像。对于大面积样本的扫描，有两种拼接方式:自动模式获取更快的图像，手动模式获取实时图像。然而，新的用户友好的智能扫描模式提供了3D图像，只需点击一个按钮。

新的超快模式确保扫描图像的采集速度是传统快速模式的两倍。此外，带扫描模式也可用于测量有限的目标区域。

测量完成后，只需按一下按钮就可以生成报表，并且可以使用编辑功能定制每个报表模板。OLS4100还提供了详细的用户设计向导功能，确保新操作人员快速、简单的操作。

测量完成后，只需按一下按钮就可以生成报表，并且可以使用编辑功能定制每个报表模板。

关键特性

LEXT OLS4100的主要特点是:

• 更广泛的样本范围
• 以10nm高度分辨率进行微轮廓测量
• 高精度，重复性好
• 各种测量模式
• 可选OLYMPUS Stream微成像软件
• 改进的表面粗糙度测量
• 水晶清晰的高质量3D彩色图像
• DIC激光模式提供实时图像
• HDR功能优化了亮度和对比度之间的平衡
• 混合振动衰减机制稳定测量和成像环境
• 简单的三步“成像，测量和报告”过程
• Macro map功能使样品的广角图像显示
• 可采用自动和手动两种拼接方式进行大面积扫描
• 智能扫描模式获取3D图像只需点击
• 高速采集所需区域的图像
• 可定制的报告在触摸按钮
• 定制报告生成
• User-designed向导功能

应用程序

LEXT OLS4100的主要应用有:

• 半导体/平板显示-芯片垫，激光点在导光板和晶圆凸点
• 电子元件/微机电系统(MEMS) -柔性PCB连接器、微透镜和掩模
• 材料/金属加工-胶带，砂纸，超薄管，碳素和金刚石电镀工具