SE 500Adv可以作为激光椭圆仪，薄膜厚度探针FTPADC或作为组合椭圆形和反射型椭圆仪操作。因此，它提供了标准激光椭圆形状从未达到的最大灵活性。
作为激光椭圆仪操作，可以执行单个和多个角度测量以确定使用632.8nm的一个波长的光学参数和多达三层的光学参数和膜厚度。
作为膜厚度探头FTPADV，在正常入射下测量透明或弱吸收层的厚度。Sentech Advanced Software FTPAPV Expert允许测量多个层。
作为Cer椭圆仪操作，立即确定透明层的循环厚度周期。强烈地增加了第一循环厚度顺序的折射率的精度（即薄层/哨兵专利）。可以确定Cauchy系数用于透明层。
特征
主要特征Sentech SE 500Adv激光椭圆仪包括：
- 组合椭圆形和反射计
- 消除透明薄膜层厚度测定中的模糊性
- 延长厚度测量可达25μm
- 最简单地应用椭圆形测量到现实世界样本