这光谱椭圆表Senpro.表示具有单一或多个入射角的椭圆测量的简单操作，测量速度和椭圆测量的简单操作，测量速度和组合数据分析的新一代成本有效的光谱椭圆形。
它测量单膜和多层叠层的厚度，折射率和消光系数。可以执行不同入射角和传输测量的反射测量，并与椭圆形数据组合。
补偿器用于自动矫立由非均匀薄膜引起的去极化效果。
SenPro配有光谱椭圆仪软件Spectraray LT，用于系统控制和数据分析，包括建模，拟合和数据呈现。
主要应用程序
- 测量吸收或透明基板上透明膜的厚度和折射率（厚度范围为0.1nm - 10,000nm）
- 测量层堆叠
- 非晶和多晶硅膜和SOI薄膜分析
- 光致抗蚀剂光学常数的测量
- 有机薄膜分析
- 各向同性材料和薄膜的测量亚博网站下载