Zeta™-20对各种样品的表面特征进行分析和成像，即对高反射率的反射率低，基于专有的ZDOT™技术，对高反射率，光滑至粗糙，对不透明。该工具可用于手动捕获所选位置的测量值，或用作自动化系统，该系统在表面上的多个位置捕获测量值。
ZETA-20 3D微针地形的测量。图片来源：KLA仪器。
可以使用许多软件和硬件选项来定制Zeta-20以适合专门测量要求。硬件安装很简单，软件功能旨在易用。
主要特征
Zeta-20的测量功能包括以下内容：
- ZDOT™结构化照明3D成像是KLA Instruments Zeta光学剖面仪上使用的标准测量技术。ZDOT技术以及KLA的传播和黑暗场照明方案以及一系列目标，使仪器能够处理非常具有挑战性的表面。
- 薄膜厚度测量选项使用ZFT反射法原理测量膜厚度。
- ZSI剪切干涉仪提供埃文级垂直分辨率。
- PSI相位转移干涉法提供了改进的干扰对比度成像，非常适合纳米水平的表面高度和粗糙度
- VSI垂直扫描干涉仪是在大型视野上薄又厚的特征
用户推荐
我们尝试使用干涉仪介绍具有低对比度托普图的重要透明样品，但无法集中精力。与Zeta-20光学剖面，我们能够在几分钟内完全表征样品。
安东尼奥·J·洛佩斯博士，西班牙国王胡安·卡洛斯大学莫斯特尔
我们使用我们的Zeta-20几乎每天都依靠它来快速测量和样本表征。它非常适合我们的需求。KLA愿意定制的意愿给我们留下了深刻的印象。我们有独特的需求，他们抓住了机会使它为我们工作。我们收到的客户服务水平也给我们留下了深刻的印象。
丽贝卡·克朗·克雷默（Rebecca Krone Kramer）博士美国普渡大学助理教授
Zeta-20用于太阳能应用的3D计量学。
图片来源：KLA仪器。